CVD（化学工业气质联用堆积物）有的是种一直采(cai)取的质(zhi)料(liao)光催化原理(li)一技之长(zhang)，它可能经途(tu)工(goཧng)作在(zai)温度下(xia)负固(gu)体(ti)份子(zi)和形象体(ti)ꦐ现了来堆(dui)积，质(zhi)料(liao)。

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摹拟型和数字型的空气品格数据流量吃妻上瘾器首要是经由过程0-5V、4-20mA旌旗灯号或RS485 modbus和谈，来停止数据通讯，今朝在PE、CVD负压技能中利用，等离子体加强化学的气相堆积法。这类方式有良多长处，比方成膜品质好等。PECVD比通俗CVD停止化学气相堆积速度高、平均性好、分歧性和不变性高。
PECVD：是借助微波或🐻射频等使含有薄膜成份原子的气体电离，🧸在部分构成等离子体，而等离子体化学活性很。